機器視覺相機在半導(dǎo)體行業(yè)中的外觀檢測
機器視覺相機檢測系統(tǒng)正廣泛地應(yīng)用于各個領(lǐng)域，從醫(yī)學(xué)界圖像到遙感圖像，從工業(yè)生產(chǎn)檢測到文件處理，從毫微米技術(shù)到多媒體數(shù)據(jù)庫等，需要人類視覺的場合幾乎都需要機器視覺檢測系統(tǒng)，特別在某些要求高或人類視覺無法感知的領(lǐng)域，如精確定量感知、危險現(xiàn)場感知、不可見物體感知等。
機器視覺相機檢測系統(tǒng)的一個主要、典型的應(yīng)用就是對半導(dǎo)體芯片的外觀檢測。
機器視覺相機檢測所具有的非接觸性、連續(xù)性、經(jīng)濟(jì)性、靈活性等優(yōu)點，使人們有了更好的選擇，人工檢測正逐漸被機器視覺檢測所替代將機器視覺檢測系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體檢測，主要是通過對實時抓取的圖像采用模式匹配進(jìn)行定位，分析處理圖像并得到圖像的各項參數(shù)，與預(yù)先設(shè)置好的檢測標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比較計算進(jìn)而判斷圖像合格與否。
與人工檢測相比，機器視覺相機檢測系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體外觀檢測具有以下一些優(yōu)點:
1.非接觸性
作為一個精確的檢測設(shè)備，機器視覺檢測通過分析處理被檢對象圖像對此對象進(jìn)行測量。測量過程中并不需要接觸，所以對被測對象沒有磨損和危險，實現(xiàn)了無損檢測。
2.連續(xù)性
機器視覺檢測系統(tǒng)的優(yōu)勢是顯而易見的，因為人有情緒，會勞，把人用作機器是不可靠的與人眼相比，機器不僅不會疲勞，而且具有人所不具有的一致性和重復(fù)性，能長時間不間斷運作。此外，由于沒有人工操作者，也就沒有了人為造成的操作變化，多個系統(tǒng)能設(shè)定單獨運行。
3. 精確性
由于芯片封裝的小型化，生產(chǎn)的復(fù)雜程度增加，生產(chǎn)率卻不斷增強，加上各種新型元器件的廣泛使用，使得在半導(dǎo)體芯片的封裝和裝配流水線，僅僅使用人眼進(jìn)行檢測操作已經(jīng)不能保證生產(chǎn)線的質(zhì)量和效率。檢測的速度和精確度在很長時間內(nèi)，是制約芯片產(chǎn)能和質(zhì)量進(jìn)一步提高的瓶頸。而檢測速度和精確性正是機器視覺檢測具備的一個明顯優(yōu)勢，日新月異的機器視覺檢測系統(tǒng)，正在代替人進(jìn)行全自動的產(chǎn)品檢測。
4.經(jīng)濟(jì)性
隨著視覺檢測技術(shù)的逐步成熟與處理硬件設(shè)備價格的降低，機器視覺檢測的經(jīng)濟(jì)性逐漸顯現(xiàn)出來。一套機器視覺檢測系統(tǒng)能代替多個人工檢測者。另外機器視覺檢測普遍的操作和維持費用都比較低。
5.可擴(kuò)展性
機器視覺系統(tǒng)能夠進(jìn)行各種不同的測量。機器視覺系統(tǒng)比光學(xué)和機器傳感器具有更好的適應(yīng)性，多樣性，靈活性和可重組性。當(dāng)需要改變檢測過程時，對機器視覺系統(tǒng)來說“工具更換”僅僅是更新軟件，而非升級昂貴的硬件。當(dāng)生產(chǎn)線重組之后，機器視覺系統(tǒng)往往可以被保留下來而繼續(xù)使用。
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